浚和（上海）仪器科技有限公司
kashiyama干式真空泵
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Kashiyama真空泵SDE系列
1.可达到200kL/min.
2.最适合大尺寸晶圆和FPD使用。
3.经得起各种工艺的考验。
KASHIYAMA真空泵SDE系列规格
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规格书 /产品介绍 |
SDE1220 |
SDE20M20 |
SDE30M20 |
SDE4060 |
SDE4030M20 |
SDE8060 |
SDE804060 |
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最大抽速[L/min] |
20,000 |
30,000 |
50,000 |
60,000 |
80,000 |
120,000 |
190,000 |
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极限压力[Pa] |
0.5 |
0.8 |
0.5 |
0.8 |
0.5 |
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电源电压(50/60Hz) |
3 Phase AC200～220V，380～480V |
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尺寸[mm] 宽W*高H*长L |
W:400 H: 780 L:930 |
W:450 H: 950 L:1000 |
W:450 H: 950 L:1000 |
W:750 H: 1200 L: 1600 |
W:800 H: 1580 L:1320 |
W:850 H: 1220 L: 1600 |
W:1000 H: 1980 L:1850 |
联系人：浚和仪器
电 话：86-021-52960695
手 机：02152960695