浚和（上海）仪器科技有限公司
kashiyama干式真空泵
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KASHIYAMA真空泵SDL Series系列
可用于大尺寸晶圆和FPD。
通过组合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
更短的周期时间。
大容量atm左右，可实现高压泵送。
适用于大型L/L箱。
溶剂抽空泵也排好了。
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列规格
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型号 |
SDL12E50 |
SDL20E50 |
SDL36M60 |
SDL40E60 |
SDL40E201 |
SDL40EW201 |
SDL80201 |
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最大排气速度 [L/min] *1 |
25,000 |
50,000 |
60,000 |
70,000 |
80,000 |
150,000 |
170,000 |
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极限真空度 [Pa] *1 |
0.8 |
0.5 |
0.8 |
5.0 |
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电源电压 (50/60Hz) |
3Phase AC200～220V, 380～480V |
3Phase AC380～480V |
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联系人：浚和仪器
电 话：86-021-52960695
手 机：02152960695