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毛细管聚焦 X 射线荧光光谱仪的原理主要利用 X 射线全反射的原理，从 X 射线管激发出来的 X 射线束在毛细玻 璃管的内壁以全反射的方式进行传输，利用毛细玻璃管的弯曲来改变 X 射线传 输方向，从而实现 X 射线会聚，同时将 X 射线的强度增加2～3个数量级。

 图 1. 1，毛细管 X 光透镜示意图 江苏天瑞仪器股份有限公司EDX-V毛细管镀层测厚仪

江苏天瑞仪器股份有限公司的毛细管XRF镀层测厚仪微束 X 射线荧光谱仪的构成：毛细管聚焦的微束 X 射线荧光谱仪主要由微焦斑 X 射线管、SDD X 射线  探测器、三维样品台、CCD 相机、激光位移传感器、编码器控制的步进电机、 西门子 PLC、红外线防碰撞装置、自动化控制软件、采谱和数据处理软件等组 成。

（3）扫描区域满足大面积的扫描分析的需求

（4）带编码器控制的闭环步进电机，每步的精度优于 1 微米；

（5）元素特征峰的拟合和能谱本底的扣除，基本参数法定量分析软件；

（6）可升级为共聚焦的三维微束 X 射线荧光谱仪；

江苏天瑞仪器股份有限公司毛细管XRF镀层测厚仪采用多导毛细管X射线光学系统,对于微米级尺寸电子零件、芯片针脚、晶圆微区等部件的镀层厚度和成分分析,能进行高效、准确的测量。
性能优势
1、结合镀层行业微小样品的检测需求,专门研发适用于镀层检测的超近光路系统,减少能量过程损耗。搭载先进的多导毛细管聚焦管,极大的提升了仪器的检测性能,聚焦强度提升1000~10000倍,更高的检测灵敏度和分析精度以及高计数率保证测试结果的精确性和稳定性。
2、全景+微区双相机设计,呈现全高清广角视野,让样品观察更全面;微米级别分辨率,更好的满足超微产品的测试,让测试更广泛更便捷。
3、先进的多导毛细管技术,信号强度比金属准直系统高出几个数量级。
4、多规格可选的多导毛细管,很好的满足用户不同测试需求。
5、高精度XYZ轴移动测试平台,结合双激光点位定位系统,可实现在样品测试过程中的全自动化感受一键点击,测试更省心。