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　　EMS 150R S – 紧凑型机械泵溅射仪，适合非氧化金属

　　EMS 150R E – 紧凑型机械泵镀碳仪

　　EMS 150R ES –集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪

　　技术参数

　　仪器尺寸585mm W x 470mm D x 410mm H (打开镀膜头时总高 650mm)

　　重量28.4kg

　　包装尺寸725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)

　　工作腔硼硅酸盐玻璃，152mm Ø (内) x 127mm H

　　安全钟罩PET材质

　　显示145mm 320 x 240 彩色图形TFT (Thin Film Transistor)显示

　　用户界面直观全图形界面，触摸屏控制

　　溅射头标配 57mm Ø、0.1mm厚金靶(Q150R S，Q150R ES)

　　样品台50mm Ø旋转样品台，带6个15mm、10mm、6.5mm或1/8”钉形样品座孔，旋转速度8-20 rpm

　　真空

　　机械泵Edwards RV3 50L/s双程机械泵

　　真空测量标配Pirani规

　　极限真空2 x 10-2mbar

　　工作真空3 x 10-2 mbar与5 x 10-1mbar之间

　　操作过程

　　溅射0-80mA，最大溅射时间60 min

　　碳蒸镀电流脉冲：碳绳，1-60 A;1.4mm Ø碳棒，1-90 A

　　辉光放电0-80mA，DC+及DC-模式

　　其它

　　工作气体Ar气，99.999%，N2为排放气体(选件)

　　电源90-250V ~ 50/60 Hz 1400 VA

　　认证CE